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中圖儀器白光干涉儀廠家SuperViewW1是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器,。它是以白光干涉技術(shù)為原理,、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,,通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),,從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學(xué)檢測儀器,。
產(chǎn)品功能
(1)設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能,;
(2)測量中提供自動對焦,、自動找條紋、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能,;
(3)測量中提供自動拼接測量,、定位自動多區(qū)域測量功能;
(4)分析中提供校平,、圖像修描,、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,;
(5)分析中提供粗糙度分析,、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析,、功能分析等五大分析功能;
(6)分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,。
中圖儀器白光干涉儀廠家SuperViewW1可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測,、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工,、微納材料及制造,、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天,、科研院所等領(lǐng)域中,。可測各類從超光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面,,從納米到微米級別工件的粗糙度,、平整度,、微觀幾何輪廓,、曲率等,提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D,、3D參數(shù)作為評價(jià)標(biāo)準(zhǔn),。
應(yīng)用領(lǐng)域
對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度,、粗糙度,、波紋度、面形輪廓,、表面缺陷,、磨損情況、腐蝕情況,、孔隙間隙,、臺階高度、彎曲變形情況,、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析,。
應(yīng)用范例:
除主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓外,具有的測量晶圓翹曲度功能,,非常適合晶圓,,太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量,應(yīng)變測量以及表面形貌測量,。
結(jié)果組成:
1,、三維表面結(jié)構(gòu):粗糙度,波紋度,,表面結(jié)構(gòu),,缺陷分析,晶粒分析等,;
2,、二維圖像分析:距離,半徑,,斜坡,,格子圖,輪廓線等,;
3,、表界面測量:透明表面形貌,薄膜厚度,,透明薄膜下的表面,;
4、薄膜和厚膜的臺階高度測量;
5,、劃痕形貌,,摩擦磨損深度、寬度和體積定量測量,;
6,、微電子表面分析和MEMS表征。
部分技術(shù)指標(biāo)
型號 | W1 | |
光源 | 白光LED | |
影像系統(tǒng) | 1024×1024 | |
干涉物鏡 | 標(biāo)配:10× 選配:2.5×;5×;20×;50×;100× | |
光學(xué)ZOOM | 標(biāo)配:0.5× 選配:0.375×;0.75×;1× | |
物鏡塔臺 | 標(biāo)配:3孔手動 選配:5孔電動 | |
XY位移平臺 | 尺寸 | 320×200㎜ |
移動范圍 | 140×100㎜ | |
負(fù)載 | 10kg | |
控制方式 | 電動 | |
Z軸聚焦 | 行程 | 100㎜ |
控制方式 | 電動 | |
Z向掃描范圍 | 10 ㎜ | |
主機(jī)尺寸(長×寬×高) | 700×606×920㎜ |
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